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Brooks Instrument質(zhì)量流量計(jì)5700系列參數(shù)

布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L(zhǎng)期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量?jī)x器。結(jié)果：使運(yùn)營(yíng)投資價(jià)值和回報(bào)大化。

應(yīng)用

化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過(guò)程

實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過(guò)程

真空應(yīng)用

參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃

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